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検索キーワード:(件名: #リソグラフィー)
該当件数:12件
フィールドガイドオプティカルリソグラフィー / Chris A.Mack著 ; 木下博雄訳
東京 : オプトロニクス社 , 2008.9. - (SPIEフィールドガイド / John E.Greivenkamp, シリーズエディター)
図書
液浸リソグラフィのプロセスと材料 / 東木達彦監修
普及版. - 東京 : シーエムシー出版 , 2012.8. - (CMCテクニカルライブラリー ; 432 . エレクトロニクスシリーズ)
フォトマスク : 電子部品製造の基幹技術 / 田邉功, 竹花洋一, 法元盛久共著
東京 : 東京電機大学出版局 , 2011.4
フォトマスク技術のはなし : 超LSI、液晶、プリント板を支える / 田辺功, 竹花洋一, 法元盛久共著
東京 : 工業調査会 , 1996.8
ナノテクノロジーとレジスト材料 / 山岡亞夫監修
普及版. - 東京 : シーエムシー出版 , 2007.4. - (CMCテクニカルライブラリー ; 256)
レジスト材料 / 伊藤洋著 ; 高分子学会編集
東京 : 共立出版 , 2005.2. - (高分子先端材料One Point / 高分子学会編集 ; 10)
半導体微細パターニング : 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術 / 岡崎信次監修
東京 : エヌ・ティー・エス , 2017.4
EUV光源の開発と応用 / 豊田浩一, 岡崎信次監修
普及版. - 東京 : シーエムシー出版 , 2013.3. - (CMCテクニカルライブラリー ; 450 . エレクトロニクスシリーズ)
はじめての半導体リソグラフィ技術 / 岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著
東京 : 技術評論社 , 2012.1. - (現場の即戦力)
電子線リソグラフィ教本 / 秋永広幸編
東京 : オーム社 , 2007.6
東京 : 工業調査会 , 2003.6. - (ビギナーズブックス ; 29)
図解フォトファブリケーション : 精密・微細加工入門 / 橋本貴夫著
東京 : 総合電子出版社 , 1986.7. - (マイクロ加工シリーズ)