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検索キーワード:(著者名に左の語を含む: #上野 巧)
該当件数:3件
短波長フォトレジスト材料 : ULSIに向けた微細加工 / 上野巧[ほか]著 ; 有機エレクトロニクス材料研究会編
東京 : ぶんしん出版 , 1988.12. - (有機エレクトロニクス材料シリーズ ; 1)
図書
はじめての半導体リソグラフィ技術 / 岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著
東京 : 工業調査会 , 2003.6. - (ビギナーズブックス ; 29)
東京 : 技術評論社 , 2012.1. - (現場の即戦力)