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検索キーワード:(件名: #Plasma etching)
該当件数:5件
Dry etching for microelectronics / edited by Ronald A. Powell
Amsterdam ; Tokyo : North-Holland. - New York, N.Y. : Distributors for the USA and Canada, Elsevier Science Pub. Co. , 1984. - (Materials processing, theory and practices ; v. 4)
図書
Glow discharge processes : sputtering and plasma etching / Brian Chapman
New York : Wiley , c1980. - (A Wiley-Interscience publication)
Plasma processes for semiconductor fabrication / W.N.G. Hitchon
: hardback,: pbk. - Cambridge ; New York : Cambridge University Press , 1999. - (Cambridge studies in semiconductor physics and microelectronic engineering ; 8)
Principles of plasma discharges and materials processing / Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg
New York : Wiley , c1994
Materials surface processing : proceedings of Symposium B on Laser, Lamp and Synchrotron Assisted Materials Surface Processing of the 1992 E-MRS Spring Conference, Strasbourg, France, June 2-5 1992 / edited by M. Stuke, E.E. Marinero, I. Nishiyama
Amsterdam ; Tokyo : North-Holland , 1993. - (European Materials Research Society symposia proceedings ; v. 32)