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ヒセッショク ホウシキ ニ ヨル セイミツ カコウ ヒョウメン ノ セイジョウ ヒョウカ : キソ ト コウガク ホウシキ ノ オウヨウ
非接触方式による精密加工表面の性状評価 : 基礎と光学方式の応用 / 精機学会 光を用いた工学表面の性状評価分科会編

データ種別	図書
著者標目	精機学会 <セイキ ガッカイ>
出版情報	東京 : 理工企画 , 1985.9