Mendeley出力
ビサイ カコウ
微細加工 / 半導体研究振興会編
(半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 14 . 超LSI技術 ; 1)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | 半導体研究振興会 <ハンドウタイ ケンキュウ シンコウカイ> |
| 出版情報 | 東京 : 工業調査会 , 1977.12 |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 利用注記 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 小金井・一般書 |
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549.8/HK14 | 50218512 |
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