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ヒカリ プラズマ プロセシング
光・プラズマプロセシング / 明石和夫 [ほか] 編

データ種別 図書
著者標目 明石, 和夫(1928-) [ほか] 編 <アカシ, カズオ>
出版情報 東京 : 日刊工業新聞社 , 1986.9

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小金井・一般書
431.71 50218346
4526020788

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別書名 異なりアクセスタイトル:光プラズマプロセシング
巻次 ISBN:4526020788 ; PRICE:4600円
大きさ xii, 370, viip ; 22cm
本文言語 日本語
一般注記 その他の編者: 服部秀三, 松本修
文献: 章末
件 名 BSH:プラズマ
NDLSH:工業材料
NDLSH:膜(工学)
分 類 NDC8:427.6
NDC8:431.71
NDLC:MC241
書誌ID 1000043783
ISBN 4526020788
NCID BN00432780

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