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プラズマプロセシングノキソ
プラズマプロセシングの基礎 / Brian N. Chapman著 ; 岡本幸雄訳

配架場所	巻　次	請求記号	登録番号	状　態	コメント	ISBN	予約	利用注記
小金井・一般書		427.6	50064018			4485661180	予約		予約
小金井・別置図書室		427.6	60733923			4485661180	予約		予約

別書名	原タイトル:Glow discharge processes : sputtering and plasma etching
巻次	ISBN:4485661180 ; PRICE:6200円
大きさ	13, 391p ; 22cm
本文言語	日本語
一般注記	Glow discharge processes, c1980 の翻訳参考文献: p[357]-386
件　名	NDLSH:プラズマ
分　類	NDC8:427.6 NDLC:MC241
書誌ID	1000044479
ISBN	4485661180
NCID	BN00319697