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フォトレジスト ノ サイセンタン ギジュツ
フォトレジストの最先端技術 = Leading edge technologies of photoresist
(エレクトロニクスシリーズ)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | 遠藤, 政孝 監修者 <エンドウ, マサユキ> |
| 出版情報 | 東京 : シーエムシー出版 , 2022.9 |
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| 別書名 | 標題紙タイトル:Leading edge technologies of photoresist 表紙タイトル:High technology information |
|---|---|
| 巻次 | ISBN:9784781316796 ; PRICE:67000円 |
| 大きさ | 345p : 挿図 ; 26cm |
| 本文言語 | 日本語 |
| 一般注記 | 監修: 遠藤政孝 背・奥付・裏表紙に「T1218」とあり 各章末に文献あり |
| 件 名 | NDLSH:感光性樹脂 NDLSH:リソグラフィー |
| 分 類 | NDLC:PA441 NDC10:578.4 |
| 書誌ID | 1000245610 |
| ISBN | 9784781316796 |
| NCID | BD06363658 |