Handbook of thin film deposition : techniques, processes, and technologies / edited by Krishna Seshan
データ種別 | 図書 |
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著者標目 | Seshan, Krishna |
出版者 | Waltham : William Andrew |
出版者 | Amsterdam : Elsevier [distributor] |
出版年 | c2012 |
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版 | 3rd ed |
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巻次 | ISBN:9781437778731 |
大きさ | xviii, 392 p. : ill. ; 24 cm |
本文言語 | 英語 |
一般注記 | Includes bibliographical references and index |
件 名 | LCSH:Thin films LCSH:Thin film devices -- Design and construction 全ての件名で検索 |
分 類 | LCC:TK7872.T55 DC23:621.38152 |
書誌ID | 1000220892 |
ISBN | 9781437778731 |
NCID | BB1140025X |