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ハンドウタイ プロセス ケイジョウ シミュレーション ギジュツ : カコウ セイド コウジョウ ノ ツボ
半導体プロセス・形状シミュレーション技術 : 加工精度向上のツボ / 重里有三, 高木茂行共著

データ種別 図書
著者標目 重里, 有三 <シゲサト, ユウゾウ>
高木, 茂行 <タカギ, シゲユキ>
出版情報 東京 : オーム社 , 2012.10

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小金井・一般書
549.8 60791076
9784274212741

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別書名 異なりアクセスタイトル:半導体プロセス形状シミュレーション技術 : 加工精度向上のツボ
巻次 ISBN:9784274212741 ; PRICE:3800円+税
大きさ x, 220p : 挿図 ; 21cm
本文言語 日本語
一般注記 参考文献: 各章末
件　名 BSH:半導体
BSH:シミュレーション
分　類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
書誌ID 1000215988
ISBN 9784274212741
NCID BB10806146

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