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ハンドウタイ MEMS ノ タメ ノ チョウリンカイ リュウタイ
半導体・MEMSのための超臨界流体 / 近藤英一編著 ; 上野和良 [ほか] 著
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | 近藤, 英一 <コンドウ, エイイチ> 上野, 和良 <ウエノ, カズヨシ> 内田, 寛 <ウチダ, ヒロシ> 曽根, 正人 <ソネ, マサト> 生津, 英夫 <ナマツ, ヒデオ> 服部, 毅 <ハットリ, タケシ> 堀, 照夫 <ホリ, テルオ> 森口, 誠 <モリグチ, マコト> |
| 出版者 | 東京 : コロナ社 |
| 出版年 | 2012.9 |
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| 別書名 | 奥付タイトル:Supercritical fluid technology in MEMS and semiconductor processing 異なりアクセスタイトル:半導体MEMSのための超臨海流体 |
|---|---|
| 巻次 | ISBN:9784339008371 ; PRICE:3400円+税 |
| 大きさ | vii, 227p : 挿図 ; 21cm |
| 本文言語 | 日本語 |
| 一般注記 | その他の著者: 内田寛, 曽根正人, 生津英夫, 服部毅, 掘照夫, 森口誠 引用・参考文献: p[212]-222 |
| 件 名 | BSH:半導体 BSH:マイクロマシン BSH:超臨界流体 |
| 分 類 | NDC8:549.8 NDC9:549.8 NDC9:431.8 NDLC:PA51 |
| 書誌ID | 1000213915 |
| ISBN | 9784339008371 |
| NCID | BB10243699 |