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ナノエレクトロニクス ニ オケル ゼツエン チョウハクマク ギジュツ : セイマク ギジュツ ト マク カイメン ノ ブッセイ カガク
ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術 : 成膜技術と膜・界面の物性科学 / 岩井洋 [ほか著]
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | 岩井, 洋 <イワイ, ヒロシ> |
| 出版情報 | 東京 : エヌ・ティー・エス , 2012.7 |
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| 別書名 | 背表紙タイトル:ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術 異なりアクセスタイトル:ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術 : 成膜技術と膜界面の物性科学 |
|---|---|
| 巻次 | ISBN:9784864690393 ; PRICE:38000円+税 |
| 大きさ | 22, 2, 4, 338, 11p : 挿図 ; 27cm |
| 本文言語 | 日本語 |
| 一般注記 | 著者のヨミは推定による 参考・引用文献: 各章末 |
| 書誌ID | 1000212890 |
| ISBN | 9784864690393 |
| NCID | BB09682498 |