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Manufacturing techniques for microfabrication and nanotechnology / Marc J. Madou
(Fundamentals of microfabrication and nanotechnology / Marc J. Madou ; v. 2)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | *Madou, Marc J. |
| 出版情報 | Boca Raton : CRC Press , c2012 |
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| 巻次 | : hardback ; ISBN:9781420055191 |
|---|---|
| 大きさ | xiii, 656 p. : ill. (some col.) ; 29 cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
| 件 名 | LCSH:Microfabrication LCSH:Nanotechnology |
| 分 類 | LCC:TJ1191.5 DC22:620.5 |
| 書誌ID | 1000209371 |
| ISBN | 9781420055191 |
| NCID | BB06582861 |