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ショクバイ CVD (CAT - CVD) ノ シン テンカイ : ラジカル オ モチイル シン プロセス ギジュツ
触媒CVD(Cat-CVD)の新展開 : ラジカルを用いる新プロセス技術 / 中山弘監修
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | 中山, 弘 <ナカヤマ , ヒロシ> |
| 出版情報 | 東京 : シーエムシー出版 , 2008.10 |
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| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:Recent developments of catalytic CVD (hot-wire CVD) : a new radical-based processing technology その他のタイトル:エレクトロニクスシリーズ 異なりアクセスタイトル:触媒CVDCat-CVDの新展開 : ラジカルを用いる新プロセス技術 |
|---|---|
| 巻次 | ISBN:9784781300399 ; PRICE:65000円+税 |
| 大きさ | v, 276p : 挿図 ; 27cm |
| 本文言語 | 日本語 |
| 一般注記 | シリーズ名「エレクトロニクスシリーズ」はカバーによる |
| 書誌ID | 1000189576 |
| ISBN | 9784781300399 |
| NCID | BA87642033 |