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マイクロ キュウメン チョウオンパ モータ ニ ヨル チョウセイミツ コウソク カイテン キコウ ノ カイハツ
マイクロ球面超音波モータによる超精密・高速回転機構の開発 / 遠山茂樹研究代表者

データ種別	図書
著者標目	遠山, 茂樹(1953-) <トオヤマ, シゲキ>
出版情報	[小金井] : 遠山茂樹 , 2003.3