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ヒカリ リソグラフィ ギジュツ
光リソグラフィ技術 / 東木達彦著
(Focus Report ; 2, 15, 19)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | 東木, 達彦 <ヒガシキ, タツヒコ> |
| 出版者 | 東京 : EDリサーチ社 |
| 出版年 | 2002.7- |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 予約 | 利用注記 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 小金井・一般書 | [1]: 実践的基礎と課題 | 549.95/HE1 | 60487146 |
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4901790102 |
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| 小金井・一般書 | 2: 計測と制御 | 549.95/HE2 | 60487158 |
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4901790285 |
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| 小金井・一般書 | 3: 実践的基礎と応用 | 549.95/HE3 | 60487161 |
|
4901790382 |
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| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:光リソグラフィ技術 : 実践的基礎と課題 異なりアクセスタイトル:光リソグラフィ技術2 : 計測と制御 異なりアクセスタイトル:光リソグラフィ技術3 : 実践的基礎と応用 |
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| 巻次 | [1]: 実践的基礎と課題 ; ISBN:4901790102 ; PRICE:2500円+税 2: 計測と制御 ; ISBN:4901790285 ; PRICE:3,000円+税 3: 実践的基礎と応用 ; ISBN:4901790382 ; PRICE:3500円+税 |
| 大きさ | 冊 ; 26cm |
| 本文言語 | 日本語 |
| 書誌ID | 1000164761 |
| ISBN | 4901790102 |
| NCID | BA60039813 |