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ハクマクカ ギジュツ
薄膜化技術 / 和佐清孝, 早川茂著

データ種別 図書
著者標目 和佐, 清孝 <ワサ, キヨタカ>
早川, 茂 <ハヤカワ, シゲル>
出版情報 東京 : 共立出版 , 2002.6

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小金井・一般書
549.8 60378766
4320086139

書誌詳細を非表示

版 第3版
巻次 ISBN:4320086139 ; PRICE:5000円
大きさ viii, 316p ; 22cm
本文言語 日本語
一般注記 折り込図1枚: 元素周期表 (蒸気圧・スパッタ率・薄膜形成法)
文献: 各章末
件　名 BSH:薄膜
分　類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
書誌ID 1000119833
ISBN 4320086139
NCID BA57243403

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