検索結果一覧に戻る

この文献を取り寄せる

図書館へ購入を依頼する

この情報を出力する

このページのリンク

他の検索サイト

サンカブツ イオン レジスト ニ ヨル ゴクビサイ カコウ ギジュツ ノ カイハツ ト オウヨウ
酸化物イオンレジストによる極微細加工技術の開発と応用 / 越田信義研究代表者

データ種別 図書
著者標目 越田, 信義 <コシダ, ノブヨシ>
出版情報 [小金井] : 越田信義 , 1991.3

所蔵情報を非表示

小金井・別置・科研費報告書
377//科研報告 50433188


書誌詳細を非表示

別書名 表紙タイトル:科学研究費補助金(一般研究(C))研究成果報告書 : 平成元年度〜2年度
大きさ 45p ; 26cm
本文言語 日本語
一般注記 [課題番号] : 01550304
書誌ID 1000114287
NCID BA55741793
検索結果一覧に戻る