マイクロ マシン ノ ケイソク ヒョウカホウ
マイクロマシンの計測評価法 = Measurement and evaluation methods of micromachine
(MMCテクニカル・レポート = MMC technical report ; MMC TR-S002(01)-2000)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | マイクロマシンセンター <マイクロマシン センター> |
| 出版情報 | 東京 : マイクロマシンセンター , 2000.6 |

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