Handbook of thin film process technology / editors, David A. Glocker, S. Ismat Shah
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | Glocker, David A. Shah, S. Ismat |
| 出版情報 | Bristol ; Philadelphia : Institute of Physics Pub. , c1995 |
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| 巻次 | ISBN:0750303115 |
|---|---|
| 大きさ | 1 v. (various pagings) : ill. ; 31 cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
| 分 類 | NDC8:501.2 |
| 書誌ID | 1000090771 |
| ISBN | 0750303115 |
| NCID | BA25838659 |

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