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Principles of plasma discharges and materials processing / Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | *Lieberman, M. A. (Michael A.) Lichtenberg, Allan J |
| 出版情報 | New York : Wiley , c1994 |
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| 巻次 | ISBN:0471005770 |
|---|---|
| 大きさ | xxvi, 572 p. : ill. ; 25 cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | Includes bibliographical references (p. 559-564) and index "A Wiley-Interscience publication." |
| 件 名 | LCSH:Plasma dynamics LCSH:Thin films -- Surfaces 全ての件名で検索 LCSH:Plasma etching LCSH:Plasma chemistry |
| 分 類 | NDC8:427.6 LCC:QC718.5.D9 DC20:530.4/4 |
| 書誌ID | 1000099409 |
| ISBN | 0471005770 |
| NCID | BA2405445X |