Mendeley出力
Laser microfabrication : thin film processes and lithography / edited by Daniel J. Ehrlich, Jeffrey Y. Tsao
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | Ehrlich, Daniel J. Tsao, Jeffrey Y. |
| 出版情報 | Boston ; Tokyo : Academic Press , c1989 |
書誌詳細を非表示
| 巻次 | ISBN:0122334302 |
|---|---|
| 大きさ | xii, 587 p. ; 24 cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | Includes bibliographies and index |
| 件 名 | LCSH:Lasers -- Industrial applications
全ての件名で検索
LCSH:Thin film devices -- Design and construction 全ての件名で検索 LCSH:Microlithography |
| 分 類 | LCC:TA1677 DC19:621.36/6 |
| 書誌ID | 1000045477 |
| ISBN | 0122334302 |
| NCID | BA07027712 |