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Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society
| データ種別 | 雑誌 |
|---|---|
| 出版情報 | New York : American Institute of Physics , 1983-1990 |
| 変遷注記 | 継続前誌:Journal of vacuum science and technology / American Vacuum Society 継続後誌:Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena |
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所蔵巻号一覧
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| 配架場所 | 巻号 | 年次/刊行日 | 登録番号 | 状態 | コメント | 資料種別 | 利用注記 | 受入日 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 小金井・雑誌室3階 8(5-6) 1990-1990 | ||||||||
| 小金井・雑誌室3階 | 8(5-6) | 1990-1990 | 90303903 |
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製本雑誌 |
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| 小金井・雑誌室3階 8(1-4) 1990-1990 | ||||||||
| 小金井・雑誌室3階 | 8(1-4) | 1990-1990 | 90303892 |
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製本雑誌 |
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| 小金井・雑誌室3階 7(5-6) 1989-1989 | ||||||||
| 小金井・雑誌室3階 | 7(5-6) | 1989-1989 | 90303880 |
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製本雑誌 |
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| 小金井・雑誌室3階 7(1-4) 1989-1989 | ||||||||
| 小金井・雑誌室3階 | 7(1-4) | 1989-1989 | 90303877 |
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製本雑誌 |
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| 小金井・雑誌室3階 6(4-6) 1988-1988 | ||||||||
| 小金井・雑誌室3階 | 6(4-6) | 1988-1988 | 90303865 |
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製本雑誌 |
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| 小金井・雑誌室3階 6(1-3) 1988-1988 | ||||||||
| 小金井・雑誌室3階 | 6(1-3) | 1988-1988 | 90303853 |
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製本雑誌 |
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| 小金井・雑誌室3階 5(4-6) 1987-1987 | ||||||||
| 小金井・雑誌室3階 | 5(4-6) | 1987-1987 | 90303841 |
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製本雑誌 |
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| 小金井・雑誌室3階 5(1-3) 1987-1987 | ||||||||
| 小金井・雑誌室3階 | 5(1-3) | 1987-1987 | 90303838 |
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製本雑誌 |
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| 小金井・雑誌室3階 4(4-6) 1986-1986 | ||||||||
| 小金井・雑誌室3階 | 4(4-6) | 1986-1986 | 90303826 |
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製本雑誌 |
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| 小金井・雑誌室3階 4(1-3) 1986-1986 | ||||||||
| 小金井・雑誌室3階 | 4(1-3) | 1986-1986 | 90303814 |
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製本雑誌 |
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| 小金井・雑誌室3階 3(4-6) 1985-1985 | ||||||||
| 小金井・雑誌室3階 | 3(4-6) | 1985-1985 | 90303802 |
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製本雑誌 |
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| 小金井・雑誌室3階 3(1-3) 1985-1985 | ||||||||
| 小金井・雑誌室3階 | 3(1-3) | 1985-1985 | 90303791 |
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製本雑誌 |
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| 小金井・雑誌室3階 2(1-4) 1984-1984 | ||||||||
| 小金井・雑誌室3階 | 2(1-4) | 1984-1984 | 90303788 |
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製本雑誌 |
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| 小金井・雑誌室3階 1(3-4) 1983-1983 | ||||||||
| 小金井・雑誌室3階 | 1(3-4) | 1983-1983 | 90303776 |
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製本雑誌 |
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| 小金井・雑誌室3階 1(1-2) 1983-1983 | ||||||||
| 小金井・雑誌室3階 | 1(1-2) | 1983-1983 | 90303764 |
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製本雑誌 |
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| 別書名 | 略タイトル:J. vac. sci. technol., B, Microelectronics process. phenom キータイトル:Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena 異なりアクセスタイトル:Journal of vacuum science and technology. B, Microelectronics processing and phenomena 異なりアクセスタイトル:Microelectronics processing and phenomena |
|---|---|
| 巻次年月次 | Vol. 1, no. 1 (Jan./Mar. 1983)-v. 8, no. 6 (Nov./Dec. 1990) |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | Title from cover Issued also on microfilm |
| 書誌ID | 2000002077 |
| ISSN | 0734211X |
| NCID | AA10635106 |