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Solid-state physics, fluidics, and analytical techniques in micro- and nanotechnology / Marc J. Madou
(Fundamentals of microfabrication and nanotechnology / Marc J. Madou ; v. 1)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | *Madou, Marc J. |
| 出版情報 | Boca Raton : CRC Press , c2012 |
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| 巻次 | : hardback ; ISBN:9781420055115 |
|---|---|
| 大きさ | xiii, 641 p. : ill. (some col.) ; 29 cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
| 件 名 | LCSH:Microelectromechanical systems LCSH:Nanoelectromechanical systems LCSH:Microfluidics LCSH:Solid state physics |
| 分 類 | LCC:TK7875 DC22:621.381 |
| 書誌ID | 1000209355 |
| ISBN | 9781420055115 |
| NCID | BB06582453 |