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ジツヨウ ハクマク プロセス : キノウ ソウセイ・オウヨウ テンカイ
実用薄膜プロセス : 機能創製・応用展開 / 齋藤文良, 多賀康訓編

データ種別 図書
著者標目 齋藤, 文良 <サイトウ, フミオ>
多賀, 康訓 <タガ, ヤスノリ>
出版情報 東京 : 技術教育出版
東京 : エヌ・ティー・エス (発売) , 2009.8

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小金井・一般書
549.8 60670474
9784907837181

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別書名 異なりアクセスタイトル:実用薄膜プロセス : 機能創製応用展開
巻次 ISBN:9784907837181 ; PRICE:47400円+税
大きさ viii, 416p : 挿図 ; 27cm
本文言語 日本語
一般注記 文献: 各章末
件 名 NDLSH:薄膜
分 類 NDC9:549.8
書誌ID 1000194033
ISBN 9784907837181
NCID BA91056919

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