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チョウビサイ カコウ ギジュツ
超微細加工技術 / 応用物理学会編 ; 徳山巍編著
(応用物理学シリーズ / 応用物理学会編 ; 専門コース)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | 応用物理学会 <オウヨウ ブツリ ガッカイ> 徳山, 巍(1929-) <トクヤマ, タカシ> |
| 出版情報 | 東京 : オーム社 , 1997.2 |