Mendeley出力
Mechanical properties of CMOS thin films : a thesis submitted to the Swiss Federal Institute of Technology Zurich for the degree of doctor of natural sciences / presented by Volker Ziebart
(Diss. ETH ; No. 13457)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | Ziebart, Volker |
| 出版情報 | Konstanz : Hartung-Gorre , 1999 |
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| 巻次 | ISBN:3896495194 |
|---|---|
| 大きさ | 4, ii, 144 p. ; 24 cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 件 名 | SWD:CMOS -- Dünne Schicht -- Eigenspannung -- Mechanische Eigenschaft 全ての件名で検索 |
| 分 類 | SG:37 NDC9:549.7 NDC9:549.8 |
| 書誌ID | 1000162676 |
| ISBN | 3896495194 |
| NCID | BB27574238 |