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Cleanrooms : facilities and practices / M. Kozicki with S. Hoenig and P. Robinson
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | *Kozicki, M. (Michael), 1958- Hoenig, Stuart A Robinson, P. (Patrick) |
| 出版情報 | New York : Van Nostrand Reinhold , c1991 |
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| 別書名 | Clean rooms, facilities and practices |
|---|---|
| 巻次 | ISBN:0442319509 |
| 大きさ | x, 374 p. : ill. ; 24 cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | Includes index |
| 件 名 | LCSH:Clean rooms |
| 分 類 | LCC:TH7694 DC20:696 |
| 書誌ID | 1000114358 |
| ISBN | 0442319509 |
| NCID | BA12566374 |