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VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | Einspruch, Norman G. |
| 出版情報 | New York ; Tokyo : Academic Press , 1981- |
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| 1 | 8 Plasma processing for VLSI / edited by Norman G. Einspruch, Dale M. Brown New York ; Orlando : Academic Press , 1984 |
| 2 | v. 22 VLSI reliability / Anant G. Sabnis San Diego ; Tokyo : Academic Press , c1990 |
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| 巻次 | v. 1 ; ISBN:0122341015 v. 2 ; ISBN:0122341023 v. 3 ; ISBN:0122341031 v. 4 ; ISBN:012234104X v. 5 ; ISBN:0122341058 v. 7 ; ISBN:0122341074 v. 9 ; ISBN:0122341090 |
|---|---|
| 大きさ | v. : ill. ; 24 cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | v. 6, 8, 10-<21 > with special titles Includes bibliographical references and indexes 子書誌あり |
| 件 名 | LCSH:Integrated circuits -- Very large scale integration 全ての件名で検索 |
| 分 類 | LCC:TK7874 DC19:621.395 s |
| 書誌ID | 1000077651 |
| ISBN | 0122341015 |
| NCID | BA00191015 |