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シリコン ウェーハ ヒョウメン ノ クリーンカ ギジュツ
シリコンウェーハ表面のクリーン化技術 / 柏木正弘, 服部毅編著

データ種別 図書
著者標目 柏木, 正弘 <カシワギ, マサヒロ>
服部, 毅 <ハットリ, タケシ>
出版情報 東京 : リアライズ社 , 1995.2

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小金井・別置図書室
549.8 60112278
4947655755

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巻次 ISBN:4947655755 ; PRICE:49440円
大きさ 333, 8p ; 30cm
本文言語 日本語
一般注記 各章末: 参考文献
件　名 NDLSH:シリコン(半導体)
分　類 NDC8:549.8
NDLC:ND371
書誌ID 1000076785
ISBN 4947655755
NCID BN13748765

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