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Materials processing, theory and practices

データ種別 図書
出版情報 Amsterdam ; New York : North-Holland Pub. Co
New York : sole distributor for the USA and Canada, Elsevier North-Holland

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1 v. 4 Dry etching for microelectronics / edited by Ronald A. Powell Amsterdam ; Tokyo : North-Holland. - New York, N.Y. : Distributors for the USA and Canada, Elsevier Science Pub. Co. , 1984

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書誌ID 1000076215
NCID BA00157684