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ビサイ カコウ : サブミクロン ソシ エノ テンカイ
微細加工 : サブミクロン素子への展開 / 中野朝安 [ほか] 著

データ種別 図書
著者標目 中野, 朝安(1923-) <ナカノ, トモヤス>
出版情報 東京 : 東京電機大学出版局 , 1989.3

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小金井・一般書
549.8 50394491
4501313307
小金井・一般書
549.8 60042635
4501313307

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巻次 ISBN:4501313307 ; PRICE:2781円 ; XISBN:4501313300
大きさ vi, 240p ; 21cm
本文言語 日本語
件 名 BSH:集積回路
分 類 NDC8:549.7
NDLC:ND386
書誌ID 1000053992
ISBN 4501313307
NCID BN03301767

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