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Plasma processing for VLSI / edited by Norman G. Einspruch, Dale M. Brown
(VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; 8)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | Einspruch, Norman G. Brown, Dale M. |
| 出版情報 | New York ; Orlando : Academic Press , 1984 |
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| 巻次 | ISBN:0122341082 |
|---|---|
| 大きさ | xiv, 527 p. : ill. ; 24 cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | Includes bibliographies and index |
| 件 名 | LCSH:Integrated circuits -- Very large scale integration
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| 分 類 | LCC:TK7874 DC19:621.381/73 |
| 書誌ID | 1000052521 |
| ISBN | 0122341082 |
| NCID | BA00536241 |