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Plasma deposited thin films / editors, J. Mort, F. Jansen
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | Mort, J. Jansen, F. (Frank), Ph. D. |
| 出版情報 | Boca Raton, Fla. : CRC Press , c1986 |
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| 巻次 | ISBN:0849351197 |
|---|---|
| 大きさ | 245 p. : ill. ; 26 cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | Includes bibliographies and index |
| 件 名 | LCSH:Thin film devices LCSH:Vapor-plating LCSH:Plasma engineering |
| 分 類 | LCC:TK7872.T55 DC19:621.381/7 |
| 書誌ID | 1000043708 |
| ISBN | 0849351197 |
| NCID | BA01334220 |