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シリコン : ケッショウ セイチョウ ト ウエーハ カコウ
シリコン : 結晶成長とウエーハ加工 / 阿部孝夫著
(アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 5)

データ種別	図書
著者標目	阿部, 孝夫 <アベ, タカオ>
出版情報	東京 : 培風館 , 1994.5

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