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The physics of micro/nano-fabrication / Ivor Brodie and Julius J. Muray
(Microdevices : physics and fabrication technologies)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | *Brodie, Ivor Muray, Julius J. |
| 出版情報 | New York : Plenum Press , c1992 |
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| 巻次 | ISBN:0306441462 |
|---|---|
| 大きさ | xix, 650 p. : ill. ; 26 cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | Includes bibliographical references and indexes |
| 件 名 | LCSH:Microelectronics LCSH:Thin-film circuits |
| 分 類 | LCC:TK7874 DC20:621.381 |
| 書誌ID | 1000005052 |
| ISBN | 0306441462 |
| NCID | BA1990816X |