Handbook of sputter deposition technology : fundamentals and applications for functional thin films, nanomaterials and MEMS / edited by Kiyotaka Wasa, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera
データ種別 | 図書 |
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著者標目 | Wasa, Kiyotaka Kanno, Isaku Kotera, Hidetoshi |
出版者 | Amsterdam ; Boston : Elsevier/William Andrew |
出版年 | 2012 |
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版 | 2nd ed |
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巻次 | ISBN:9781437734836 |
大きさ | xii, 644 p. : ill. ; 24 cm |
本文言語 | 英語 |
一般注記 | Includes bibliographical references and index |
件 名 | LCSH:Cathode sputtering (Plating process) -- Handbooks, manuals, etc
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LCSH:Thin films -- Handbooks, manuals, etc 全ての件名で検索 |
分 類 | LCC:TS695 |
書誌ID | 1000220889 |
ISBN | 9781437734836 |
NCID | BB16247557 |