Electrostatic actuators fabricated by surface micromachining techniques / door Rob Legtenberg
データ種別 | 図書 |
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著者標目 | Legtenberg, Rob |
出版者 | Enschede : Rob Legtenberg |
出版年 | c1996 |
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巻次 | ISBN:9036507960 |
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大きさ | 259 p. ; 24 cm |
本文言語 | 英語,オランダ語 |
一般注記 | Proefschrift ter verkrijging van de graad van doctor aan de Universiteit Twente -- t.p. |
分 類 | NDC9:548.2 |
書誌ID | 1000162682 |
ISBN | 9036507960 |
NCID | BB27581153 |