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ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
半導体製造装置用語辞典 / 日本半導体製造装置協会編

データ種別 図書
著者標目 日本半導体製造装置協会 <ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ>
出版者 東京 : 日刊工業新聞社
出版年 2000.11

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小金井・閲覧室参考書
549 60385036
4526046663
工・機械・夏 恒
549 60404976
4526046663

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別書名 標題紙タイトル:Terminological dictionary of semiconductor equipment
第5版
巻次 ISBN:4526046663 ; PRICE:4700円+税
大きさ xiv, 588p ; 22cm
本文言語 日本語
件 名 BSH:半導体
NDLSH:半導体 -- 辞書  全ての件名で検索
分 類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
NDLC:ND2
NDLC:ND371
書誌ID 1000123649
ISBN 4526046663
NCID BA49490746

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