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アタラシイ ハンドウタイ セイゾウ プロセス ト ザイリョウ
新しい半導体製造プロセスと材料

データ種別 図書
著者標目 大見, 忠弘(1939-) <オオミ, タダヒロ>
出版者 東京 : シーエムシー
出版年 2000.5

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小金井・閲覧室一般書
549.8 60336006
488231276X

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別書名 標題紙タイトル:New process and materials of semiconductore equipment
巻次 ISBN:488231276X ; PRICE:68250円
大きさ v, 274p ; 27cm
本文言語 日本語
一般注記 監修: 大見忠弘
文献: 各章末
件 名 NDLSH:半導体
分 類 NDC9:549.8
NDLC:ND371
書誌ID 1000111495
ISBN 488231276X
NCID BA49424027

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