ハンドウタイ リッコク : セイゾウ ソウチ ノ アス オ カタル
半導体立国 : 製造装置の明日を語る / 日本半導体製造装置協会編
データ種別 | 図書 |
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著者標目 | 日本半導体製造装置協会 <ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ> |
出版者 | 東京 : 日刊工業新聞社 |
出版年 | 1996.11 |
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巻次 | ISBN:4526039373 ; PRICE:2400円 |
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大きさ | xi, 258p ; 19cm |
本文言語 | 日本語 |
一般注記 | 監修:金山敏彦 |
件 名 | BSH:半導体 |
分 類 | NDC8:549.8 |
書誌ID | 1000065725 |
ISBN | 4526039373 |
NCID | BN15450516 |