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スパッタ ギジュツ
スパッタ技術 / 和佐清孝, 早川茂著

データ種別 図書
著者標目 和佐, 清孝 <ワサ, キヨタカ>
早川, 茂 <ハヤカワ, シゲル>
出版者 東京 : 共立出版
出版年 1988.6

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小金井・閲覧室一般書
549 50054513
4320084772

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巻次 ISBN:4320084772 ; PRICE:4120円
大きさ v, 227p ; 22cm
本文言語 日本語
一般注記 文献: 各章末
件 名 BSH:薄膜
NDLSH:薄膜
分 類 NDC8:431.86
NDC8:549
NDC7:431.89
書誌ID 1000043712
ISBN 4320084772
NCID BN02297664

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