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チョウ LSI ジダイ ノ プラズマ カガク
超LSI時代のプラズマ化学 / 「電子材料」編集部編

データ種別 図書
著者標目 電子材料編集部 <デンシ ザイリョウ ヘンシュウブ>
出版者 東京 : 工業調査会
出版年 1983.9

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小金井・閲覧室一般書
431.7 50054730
4769310315

書誌詳細を非表示

巻次 ISBN:4769310315 ; PRICE:3200円
大きさ 6, 213p : 挿図 ; 22cm
本文言語 日本語
一般注記 参考文献: 各章末
件　名 NDLSH:プラズマ
分　類 NDC8:431.7
NDLC:PA181
NDLC:MC241
書誌ID 1000043206
ISBN 4769310315
NCID BN00621353

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