Mendeley出力
ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
半導体製造装置用語辞典 / 日本半導体製造装置協会編
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | 日本半導体製造装置協会 <ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ> |
| 出版者 | 東京 : 日刊工業新聞社 |
| 出版年 | 1991.9 |
書誌詳細を非表示
| 版 | 第2版 |
|---|---|
| 巻次 | ISBN:4526029874 ; PRICE:4300円 |
| 大きさ | xvi,419p ; 22cm |
| 本文言語 | 日本語 |
| 件 名 | BSH:半導体 -- 便覧 全ての件名で検索 |
| 分 類 | NDC8:549.8 |
| 書誌ID | 1000039128 |
| ISBN | 4526029874 |
| NCID | BN06743353 |