ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
半導体製造装置用語辞典 / 日本半導体製造装置協会編
データ種別 | 図書 |
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著者標目 | 日本半導体製造装置協会 <ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ> |
出版者 | 東京 : 日刊工業新聞社 |
出版年 | 1991.9 |
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版 | 第2版 |
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巻次 | ISBN:4526029874 ; PRICE:4300円 |
大きさ | xvi,419p ; 22cm |
本文言語 | 日本語 |
件 名 | BSH:半導体 -- 便覧 全ての件名で検索 |
分 類 | NDC8:549.8 |
書誌ID | 1000039128 |
ISBN | 4526029874 |
NCID | BN06743353 |