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ULSI プロセス ノ キソ ギジュツ
ULSIプロセスの基礎技術 / 古川静二郎編 ; 石原健 [ほか] 共著
(Maruzen advanced technology / 菅野卓雄 [ほか] 編集 ; . 材料工学編 / 堂山昌男 [ほか] 編 ; M08)

データ種別 図書
著者標目 古川, 静二郎(1934-) <フルカワ, セイジロウ>
石原, 健 <イシハラ, タケシ>
堂山, 昌男(1927-) <ドウヤマ, マサオ>
出版者 東京 : 丸善
出版年 1991.3

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小金井・閲覧室一般書
549.7 50100283
4621035835

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巻次 ISBN:4621035835 ; PRICE:4944円
大きさ xi, 262p ; 22cm
本文言語 日本語
一般注記 各章末: 文献
件 名 BSH:集積回路
NDLSH:集積回路
分 類 NDC8:549.7
NDC7:549.8
書誌ID 1000019451
ISBN 4621035835
NCID BN06180206

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