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シリコン : ケッショウ セイチョウ ト ウエーハ カコウ
シリコン : 結晶成長とウエーハ加工 / 阿部孝夫著
(アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 5)

データ種別 図書
著者標目 阿部, 孝夫 <アベ, タカオ>
出版者 東京 : 培風館
出版年 1994.5

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小金井・別置図書室
549.8 60054922
4563036056

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巻次 ISBN:4563036056 ; PRICE:5974円
大きさ xii, 361p ; 22cm
本文言語 日本語
一般注記 各章末: 参考文献
件 名 NDLSH:結晶成長
NDLSH:電子部品
分 類 NDC8:549.8
書誌ID 1000019226
ISBN 4563036056
NCID BN10742751

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