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アフター グローホウ デ ケイセイ シタ a-SiNx:H マク ノ ナイブ オウリョク ハッセイ ト セイギョ
アフターグロー法で形成したa-SiNx:H膜の内部応力発生と制御 / 永吉浩著
(博士学位論文 ; 甲第50号)

データ種別	図書
著者標目	永吉, 浩, 1961- <ナガヨシ, ヒロシ>
出版者	小金井 : 東京農工大学工学部
出版年	1993.3授与