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Semiconductor materials analysis and fabrication process control : proceedings of Symposium D on Diagnostic Techniques for Semiconductor Materials Analysis and Fabrication Process Control of the 1992 E-MRS Spring Conference, Strasbourg, France, June 2-5, 1992 / edited by G.M. Crean, R. Stuck, and J.A. Woollam
(European Materials Research Society symposia proceedings ; 34)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | Crean, G. M. Stuck, R. Woollam, John A. |
| 出版者 | Amsterdam : North-Holland |
| 出版年 | 1993 |
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| 巻次 | ISBN:0444899081 |
|---|---|
| 大きさ | xiv, 338 p. : ill. ; 29 cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 分 類 | LCC:IN PROCESS |
| 書誌ID | 1000006166 |
| ISBN | 0444899081 |
| NCID | BA20463173 |