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Handbook of thin-film deposition processes and techniques : principles, methods, equipment, and applications / edited by Klaus K. Schuegraf
(Materials science and process technology series)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | Schuegraf, Klaus K. |
| 出版者 | Park Ridge, N.J., U.S.A. : Noyes Publications |
| 出版年 | c1988 |
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| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:Hand book of thin-film deposition processes and techniques |
|---|---|
| 巻次 | ISBN:0815511531 |
| 大きさ | xvii, 413 p : ill. ; 25 cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | Includes bibliographies and index |
| 件 名 | LCSH:Thin film devices -- Design and construction -- Handbooks, manuals, etc 全ての件名で検索 |
| 分 類 | LCC:TK7872.T55 DC19:621.381/72 |
| 書誌ID | 1000031781 |
| ISBN | 0815511531 |
| NCID | BA07074756 |