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Silicon nitride in electronics / V.I. Belyi ... [et al.]
(Materials science monographs ; 34)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 著者標目 | Belyĭ, V. I. (Vi︠a︡cheslav Ivanovich), 1938- |
| 出版者 | Amsterdam ; New York : Elsevier |
| 出版年 | 1988 |
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| 別書名 | 原タイトル:Nidrid kremnii︠a︡ v ėlektronike |
|---|---|
| 巻次 | ISBN:0444426892 |
| 大きさ | viii, 263 p. : ill. ; 25 cm |
| 本文言語 | 英語 |
| 一般注記 | Includes bibliographies and index |
| 件 名 | LCSH:Microelectronics -- Materials
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LCSH:Silicon nitride |
| 分 類 | LCC:TK7871.15.S558 DC19:621.381/7 |
| 書誌ID | 1000007190 |
| ISBN | 0444426892 |
| NCID | BA06808683 |